Neue Materialien für die Sensorik
Die Entwicklung neuer, aber auch in harschen Umgebungen zuverlässigerer Sensoren bedingt oftmals den Einsatz neuartiger maßgeschneiderter Materialien, wie z.B. funktionelle Sensorschichten aus 2D-Materialien oder widerstandsfähige Schutzschichten. Für Forschungs- und Entwicklungsprojekte stehen hier Anlagen zur Abscheidung und Bearbeitung verschiedenster Materialien zur Verfügung. Unter anderem sind eine Pulsed Laser Deposition-Anlage (PLD), eine Sputterabscheideanlage (PVD) und verschiedene Plasmaabscheideanlagen installiert. Im Chemie- bzw. Materiallabor können, neben dem sicheren nasschemischen Arbeiten in einem Abzug, Festkörpersynthesen in verschiedenen Kammer- und Röhrenöfen durchgeführt werden. Oberflächenbeschichtungen sind mittels Gasphasenabscheidung auf einer Niederdruck-Plasmaanlage (PECVD) und einer Sputteranlage (PVD) möglich. Über die Herstellung einer Lackmaske im Lithographiebereich können die erzeugten Dünnfilme mittels Lift-off-Technik oder Ätzprozess strukturiert werden. Zudem stehen zur mechanischen Bearbeitung von Keramiken und Gläsern Schleif- und Poliermaschinen, sowie eine Diamant-Bandsäge zur Verfügung.
Digestorium
Kammerofen - ThermConcept KC 16/13
Röhrenofen - ThermConcept ROT 60/300/12
Röhrenofen - Ionenaustausch
Poliermaschine - ATM SAPHIR 550
Niederdruck-Plasmaanlage - Diener Tetra 30 LF
PVD-Anlage - Quorum Q300T D
Plasmaspritzanlage – Eigenbau auf Basis Relyon plasmabrush PB3
Lithographieverfahren